ESD(Electro-Static discharge)的意思是“静电释放”。ESD是20世纪中期以来形成的以研究静电的产生、危害及静电防护等的学科。因此,国际上习惯将用于静电防护的器材统称为ESD。
静电(staticcharge)
物质表面经由某种过程(如摩擦和感应),使得物质失去(带正电)或得到(带负电)电子,而将物质本身成为带有静止的电荷;此电荷即为静电。静电放电(Electro-Static Discharge;ESD)
电位不同的物体间之电荷的转移,不一定伴随着有电弧或火花的发生。一般人体可感受到的静电压约在3KV以上。
EOS (Electrical Over-Stress)
定义:为一受较长时间(~ms) 、较高电压及大电流所damage的事件.
时机:当这事件发生在超过 datasheet所定之最大值时易造成产品物性 damage.
现象:
(1)电性:一般会使得产品造成金属short 、leakage orfunction fail.
(2)物性:使用较低倍显微镜(OM)即可发现这种damage ,常发生于上表面的护层(passivation)至金属界面.
(3)所有EOS damaged位置易出现褪色的物性 (Discoloration),由于金属已被烧毁.
ESD (Electro-Static Discharge)
定义:此事件所发生的时间非常短 (pico to nano(1012~109)-sec,不超过200ns)能量相当大(电流为安培-level).
电性:一般会使得产品造成Leakage or function fail.
物性:所造成的物性破坏为次表面(下层)damage.
分析:必需经由漏电分析设备(如 LC, EMMI 等) 确认漏电位置,在以化学方式逐层去除(Delayer), 再以高倍的电子显微镜(SEM)來分析.
常見EOS failure photograph