在现代的扫描电镜和透射电镜中，能谱仪（EDS）是一个重要的附件，它同主机共用一套光学系统，可对材料感兴趣部位的化学成分进行点分析、面分析、线分析。它的主要优点有：（1）分析速度快，效率高，能同时对原子序数在11—92之间的所有元素（甚至C、N、O等超轻元素）进行快速定性、定量分析；（2）稳定性好，重复性好；（3）能用于粗糙表面的成分分析（断口等）；（4）能对材料中的成分偏析进行测量，等等。本文就EDS分析时需要注意的事项进行一些浅显的分析。
1.关于EDS的缩略术语及其含义
EDS (energy dispersive X-rayspectrometer）：能谱仪
同时记录所有X射线谱的谱仪。
能谱仪不称能量色散谱仪。
WDS（wavelength dispersive spectrometer）：波谱仪
不采用“波长色散谱仪”、“波长分光谱仪”。
EDX（Energy dispersive x-rayspectrometry)：能谱法
检测X射线强度与能量关系的一种方法，不作为能谱仪的缩写。
WDX（wavelength dispersive x-rayspectrometry）：波谱法
检测X射线强度与波长关系的一种方法。不作为波谱仪的缩写。
CRM（certified reference material）
有证参考物质、标准样品
RM（Reference material)：参考物质；标准物质
VPSEM（variable- pressure scanning electron microscope/ microscopy）：可变气压扫描电镜
CPSEM (controlled pressure scanningelectron microscope):可控气压扫描电镜。
ESEM( environmental scanningelectron microscope/microscopy)环境扫描电镜；环境扫描电子显微术；
2.影响能谱仪分辨率的因素
l 1、探测器因素：
Dispersion -121eV for Si, 104eV forGe
2、电子噪音。
3、不完全电荷搜集（ICC）。
l 4、X射线能量：FWHM2 = k . E + FWHM 2noiseK为常数，E为谱线能量
3.影响空间分辨率的因素
EDS分析的空间分辨率(X射线激发体积）和试样表面分析区域的大小取决于如下因素：
1、加速电压 :Zm=0.033(Ei1.7-Ek1.7)×ma/ ρZ
2、试样密度
3、电子束直径: D2＝C S2α6+CC2α2（△V/VACC）2+0.4*I/βα2
4. 正确认识图像分辨率
仪器的图像分辨率指标不是日常工作能实现的，只是仪器验收指标。因为拍摄分辨率照片时必须满足如下几个条件：
（1）拍摄分辨率照片是用碳镀金的特殊试样
（2）拍照时规定一些特殊条件，如放大倍率、电子束电流、加速电压、工作距离等。
（3）一般要晚上没有任何振动和干扰的特殊环境下进行多次拍照，寻找最好的图像测量分辨率。
日常工作无法满足上述的特殊要求。分辨率还与图像衬度、亮度、信噪比有关，分辨率测量误差较大，只要能把分辨率放大到0.3mm、图像清楚，肯定能达到分辨率要求，可以不实际测量两个图像特征之间的最小距离。
5.总结
以上几点是我们在进行EDS分析时需要注意的点以及会造成实验效果不理想的因素，在实验过程中可能遇到的问题远不止如此，还需要我们不断学习，积累经验，才能更好的解决EDS分析过程中遇到的问题。
