在EDS能谱测试过程中，当两种元素的谱峰能量很接近，以至于能谱仪对这两个谱峰几乎不能识别时（目前能谱仪的分辨率在133eV左右，当两种元素能量差异小于133eV时，能谱仪就不能识别出这两种元素），就会造成谱峰重叠或者互相干扰。

例如：

Al的Kα能量为E=1.4866kev，而Br的Lα能量为E=1.4805kev。

由于两者能量非常接近，以目前能谱仪的分辨率不能很好地分辨出差异，对元素的标定造成了干扰。

那么应该如何鉴别出此处到底是哪种元素呢？

 在牛津INCA软件中，有谱图重建功能，如下图。

对于一般的重叠元素，可通过删除重叠元素其中一个，若重建的谱线图无太大变化，则删除的元素为干扰元素；若重建的谱线图‘掉落’，即拟合度大大降低，则说明存在此元素，如以下谱图。

但此方法不适用于Al和Br的判定，如下图:

   那么我们应该如何鉴别此类型的重叠或干扰的元素呢？

   我们知道Al的Kα和Br的Lα能量接近，但是还应该知道Br的Kα的能量为E=11.9089keV，也就是说如果在11.9089keV处有谱峰，此处即为Br元素，反之则为Al元素。

所以总结起来最简单的重叠或干扰元素的标定和鉴别方法有如下两种：

1.重建谱线图，删除重叠元素中的一种，如果谱线图无太大变化，说明此元素为干扰元素；反之，若谱线图‘掉落’，拟合度大大变差，说明存在此种元素。

2.当第1种方法不适用时，可根据重叠元素的其他线系谱峰图进行鉴别。如果其他线系的能量处有谱峰，说明此元素存在；反之说明此元素为干扰元素。