什么是能量分辨率？
1、能量分辨率：能谱仪测得的谱峰半高宽。
谱峰半高宽（FWHM：Full peak Width at Half Maximum )：谱峰扣除背底后强度最高值之半处的峰宽度。
注：最大峰强度是通过拟合相应的谱峰所有通道来测定，峰宽是在峰高一半处测量。
能量分辨率如何测量？
1、能量分辨率应用Mn-Kα峰的半高宽来表示。要说明测量分辨率的计数率。此线也可从一铁55同位素放射源获得。
2、对于可以检测低于1KeV能量X射线的能谱仪，应该测定C-K和F-K线的峰半高宽。能谱仪在低能端的灵敏度相对于高能量区而言，明显的依赖于探测晶体和X射线入射窗口材料
能量分辨率之高低有何影响？
所以，EDS的能量分辨率是获得精确的成份数据的一个重要依仗，它描述了能量相近的谱峰的干扰情况，因为峰的重叠会对分析造成困难，因此分辨率高的谱仪对分析更有利。
